波長為185μｍ的紫外線能使空氣中的氧分子獲得能量而結合生成臭氧，利用這一原理，采用紫外線燈管照射消毒室內的空氣即產生了可用于消毒的臭氧。此方法結構簡單，臭氧產量適中，雖成本較高，但還是被廣泛采用。
紫外線消毒是通過紫外線發(fā)生管，產生波長為254μｍ的紫外線，此波長的紫外線最易被微生物的細胞核所吸收，從而導致微生物細胞核破壞而死亡。
因在背光的地方無法照射到紫外線，所以紫外線只能作為食具的一種輔助手段，國家標準GB17988－2000中亦明確提出“僅靠紫外線消毒的消毒柜是不適用于食具消毒”。所以消毒柜上采用的多為紫外線臭氧管，就是說產生紫外線的同時也產生臭氧進行消毒。
紫外線發(fā)射功率８Ｗ，輻照度≥40µw／cm2,0.5m紫外線消毒燈管有選用臭氧紫外線燈的，也有與臭氧管分別設量的。
臭氧紫外線燈管：
目前市面上運用的最廣的在低溫消毒柜中的是臭氧紫外線燈管，這種燈管在工作的時候能夠同時發(fā)射出兩種波長的紫外線——254μｍ和185μｍ，能夠同時起到分解臭氧和紫外線殺毒兩種功能，成本也比較便宜。
根據國家標準（GB17988－2004） 規(guī)定：
消毒星級“標志”的使用，用消毒級數表示消毒結果：一星級消毒柜用“*”表示；二星級用“**”表示；
一星級、二星級消毒柜消毒共同效果：
（1） 對自然菌的殺滅率應大于99.9%；
（2） 對大腸桿菌殺滅率應不小于99.9%；
（3） 對金黃色葡萄球菌殺滅率應不小于99.9%。
2006年7月，國標規(guī)定：二星級消毒柜除達到以上指標外，還應做到：
A、能殺滅脊髓灰質炎病毒（小兒麻痹癥病毒）。
B、帶臭氧消毒的消毒柜必須配備“臭氧”泄漏保護裝置（安全門鎖功能）。
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